1.
昇温・降温
速度が早い
。
2.
炉内
均熱が取りやすい
。
3.
最高使用温度が
高い
。(1000℃)
4.
軽量であり
コンパクト
。
5.
寸法を
自由設計
できる。(内径50φ〜450φ・1500L)
半円筒炉
軽量、低電力、高効率
異型分割ヒーター
配内部観察窓付き、低電力、高効率
小型円筒炉
軽量、低電力、高効率
小型円筒炉
内部壁、セラミックチューブタイプ
小型2つ割れ
管状炉
ゾーン分割制御タイプ、高効率、ゾーン制御
(半導体)
角型ファイバー
ヒーター
高温仕様、発熱体オープンタイプ
(半導体)
CVD炉セラミック
ファイバーヒーター
昇温・降温短スピード対応、高効率、トランスレスタイプ
(半導体)
円筒型セラミック
ファイバー炉
昇温・降温短スピード対応、発熱体オープンタイプ、高電力(max1000℃)
扇型セラミック
ファイバー炉
大型形状分割化、昇温部 分割コントロール可能
制作中
Copyright-1999/09/20