1.昇温・降温速度が早い
2.炉内均熱が取りやすい
3.最高使用温度が高い。(1000℃)
4.軽量でありコンパクト
5.寸法を自由設計できる。(内径50φ〜450φ・1500L)





半円筒炉
軽量、低電力、高効率
異型分割ヒーター
配内部観察窓付き、低電力、高効率
小型円筒炉
軽量、低電力、高効率
小型円筒炉
内部壁、セラミックチューブタイプ
小型2つ割れ
管状炉
ゾーン分割制御タイプ、高効率、ゾーン制御
(半導体)
角型ファイバー
ヒーター
高温仕様、発熱体オープンタイプ
(半導体)
CVD炉セラミック
ファイバーヒーター
昇温・降温短スピード対応、高効率、トランスレスタイプ
(半導体)
円筒型セラミック
ファイバー炉
昇温・降温短スピード対応、発熱体オープンタイプ、高電力(max1000℃)
扇型セラミック
ファイバー炉
大型形状分割化、昇温部 分割コントロール可能
制作中  
 



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